Fraunhofer IPMS erweitert Leistungsportfolio um Elementanalytik im Ultraspurenbereich auf Wafern

Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS erweitert seine Analysefähigkeiten im Bereich der Waferkontamination. In einem dedizierten Labor wird dazu die etablierte Methode der Dampfphasenzersetzung in Kombination mit der Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (VPD-ICP-MS) eingesetzt. Damit ist eine genaue Überwachung der Waferoberflächenkontamination möglich.
Quelle: IDW-Informaitionsdienst d. Wissenschaft