Entwickler von Dünnschicht-Gas-Sensoren profitieren von geheizter Substrat-Plattform

Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS entwickelt und
fertigt individuelle beheizbare Test-Chips für die Charakterisierung neuer
Materialien der Gas-Sensorik. Darauf abgeschiedene sensorische Schichten und
deren anwendungsspezifische Parameter, wie Sensitivität und Selektivität,
können damit gezielt untersucht werden. Individuell herstellbare Chip-Designs
erlauben die optimale und hochgenaue Charakterisierung dieser dünnen
Schichten.
Quelle: IDW-Informaitionsdienst d. Wissenschaft